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集中供气管道安装设计-珂锐弘扬-集中供气管道安装设计哪家好
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苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司

经营模式:其他

地址:苏州工业园区唯华路6号金沙商务广场1幢422室

主营:气体管道安装,特种气体,标准气体,生物容器等

业务热线:0512-65074279

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产品品牌:珂锐弘扬
供货总量:不限
价格说明:议定
包装说明:不限
物流说明:货运及物流
交货说明:按订单
有效期至:长期有效

集中供气管道安装设计-珂锐弘扬-集中供气管道安装设计哪家好


气体管道安装

实验室供气系统作为一种气体补给方式,现已经被人们越来越广泛的使用。它是一种包括了气源、切换装置、压力调节设备、终端、报警设备。气路系统通常采用不锈钢管道。

实验室供气系统主要包括中央集中供气系统和气瓶分散供气系统两种模式。实验室集中供气系统已成为实验室的主流,其优势主要体现在集中供气更安全、更经济、纯度更高,工作流程更优化。实验室是一个特殊的工作区域,从安全、经济社会效应及实际使用效益角度考虑,形成系统的供气迫在眉睫,实验室供气系统的安全系数应通过集中供气来实现,气瓶供气已逐步淘汰。













气体管路施工技术要求及验收标准?

技术要求

(1)总体设计:管道采用1/4”外径,经过AP处理的高等级洁净不锈钢管道。所有集中在气瓶柜的管路有适当的路径进入各实验桌,在使用仪器的附近接气体考克。

(2)管路设计、规划要点:

气体管路系统应具有良好的气密性,可靠性,可维护性。

1、气瓶阀出口为GB标准的外螺纹形式,为了便于管路系统与气瓶连接,故从气瓶阀出口到管道系统应设有转换接头(气瓶接头)。

2、为了方便更换气瓶,从上述气瓶接头到调节阀之间应设有耐高压的不锈钢螺旋管。

3、由于气瓶内部的气体压力为150Bar左右,使用点的压力较小,气体压力有变化,而且数值差距较大,故应在气瓶出口处设置一级减压阀(双表头)。

4、气路系统中应设有在紧急情况下能够快速切断供气的装置—开关阀,为了开关系统的方便和快捷,本项目中开关阀采用球阀。

5、为了保持气体的纯度及管道系统的气密性,所有管道采用进口316L不锈钢管道,内表面按规定处理。

6、管道与阀件的连接,管道与管道的连接应保证系统的气密性,同时要便于维修及更换阀件。

7、管道固定件要求坚固,轻巧,耐用。









高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注:①管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高i级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸,有剧i毒的特种气体,如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管,它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP,此设计的主要目的有两点,首先可保护内管直接受到外力撞击,其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测,目前常用的设计有正压和负压两种方式,负压设计是将内外管间抽成真空,正压设计则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等,目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。







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